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电子制造厂车间废气排放处理方案

作者:南京永研环保科技有限责任公司   时间:2017-12-29   我要发布

关键词: 电子废气电子厂废气处理废气处理设备

电子工业有机废气VOCs的排放,对大气质量、人体健康以及周边生活环境的危害都较大,对该类污染物进行有效控制和治理问题也愈发重要。电子工业从产品产业链划分,自上而下分为电子整机产品、电子基础产品和电子专用材料三个层次。其中涵盖:电子专用材料、半导体器件、电子元件及印制电路板、光电器件和电子终端产品等5个方面。

电子工业是VOCs排放的主要行业之一,电子工业废气VOCs排放种类有30多种,组分复杂。电子工业废气VOCS主要来源于对电子产品的表面涂层工艺环节所用溶剂型涂料和清洗工艺环节所用有机溶剂所致。电子工业废气VOCS常见的种类有:异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等。

一般来说,废气排放中风量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。

挥发性有机物(VOCs)排放量大、浓度低、成分复杂,常见有机废气治理方法如:焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等,单独运用或无法达成经济高效运行,或不能满足严苛的排放标准。

焚烧法(RTO):能耗大、运行成本高,适合处理高浓度、小风量有机废气。

吸附法(活性炭):投资小、工艺简单,易饱和,必须与脱附、冷凝、焚烧等方法联用才能满足排放要求。

冷凝法:与吸收、吸附等方法联用,将有机废气吸附浓缩后冷凝、分离,回收其中有价值的有机物。此法适用浓度高、风量小的有机废气处理场合。缺点是:投资、能耗、运行费用高,冷凝回收物提纯处理后,仍有相当部分液态废弃物需要进一步处理。该方案与生产设备、生产工艺存在匹配关系,偏离这种匹配关系将提高治理成本,影响治理效果。

沸石转轮浓缩+焚烧法:沸石转轮浓缩设备基本依靠进口,自主产品尚不成熟。该方案同样与生产设备、生产工艺存在匹配关系。

低温等离子、光催化氧化法:挥发性有机物处理效率低,只能作为辅助性的治理手段。

南京永研环保科技公司首先提出“高温等离子焚烧”概念(发明专利),是唯一掌握该技术并实际应用的企业(世界范围)。为有机废气治理开辟了一条全新的途径。

高温等离子焚烧技术是高频(30KHz)高压(100KV)大功率电源在特定条件下的聚能放电,产生3千℃等离子态高温气流。

有机废气在反应器中经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。反应器压力增高,气体体积急剧膨胀,在高温、高电势的双重作用下,有机废气瞬间(万分之5秒)成为高温等离子体,其中长分子链裂解成单质原子,有机物清除率大于98%。

高温等离子焚烧装置无需浓缩,便可直接处理低浓度、大风量有机废气。每处理1万立方米/小时有机废气,仅消耗10kW电力。

从资金投入和营运成本考量,高温等离子焚烧方案要优于浓缩吸附+RTO焚烧方案。

工艺流程示意图:

高温等离子焚烧”技术优势:

模块化设计,配置灵活,经济高效,可处理从几百立方到几十万立方不同浓度、流量的有机废气。

无需预热,即开即用。

能效比高,高温等离设备废气排放口温度,比进气口温度仅提高几十度。能够处理高浓度、成分复杂、易燃易爆及含有水分、固态、油状物的工业废气,实现达标排放。

风阻小,能耗低,不消耗天然气,无碳排放问题。没有阀门等运动部件,能够无故障,不间断运行上万小时。

苯并芘、二恶英等难以处理的物质,瞬间分解,实现达标排放。(是垃圾焚烧尾气排放二恶英问题的理想解决方案)

天燃气焚烧法因其工作机理及自身结构上的缺陷,在易燃易爆场所,或处理废气中含有可燃成分时需要考虑防爆问题。

高温等离子焚烧技术是一个划时代的技术变革。

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