五个工程师与一个气质独特的中红外气体分析解决方案

Q：完成探测器和激光光源配套的方案有什么困难?方案对于客户有什么价值?

杉山：无论是探测器还是激光光源，都存在很多开发难题，同时挑战两种器件的厂家也鲜有出现。就激光光源来说，因为“1成分=1波长”，故而需要开发与被测对象气体相同数量的激光光源。开发成本大，产品化后的商务风险也很高。

大石 ：从客户角度，探测器和光源都来自同一个厂家是具有很大优势的。比如，目前多数的仪器制造商都是从不同厂家分别购买的探测器件和光源。但若开发出来的设备没有达到预期的性能时，由于器件来自不同的地方，就很难知道配合使用过程中的问题所在。

落合：若探测器和光源都是由同一厂家生产的，就可以进行相互评估，找出问题所在，从而提高测量设备的性能，缩短开发设备的时间。利用中红外波段QCL(量子级联激光器)的激光吸收分光是非常新的分析计测技术，今后也将以高灵敏度、高分辨率的优势，成为气体分析的选择并得到普及。

采用QCL(量子级联激光器)和InAsSb光伏测器的极微量气体分析示意图

Topic 2：单一波长振动

量子级联激光器(QCL)和性能稳定的InAsSb光伏光伏探测器

Q：滨松分别为光源和探测器部分提供怎么样的产品?

杉山：光源器件的代表是量子级联激光器(QCL)。它的开发初衷其实是想用于通过呼吸分析来进行“癌症筛查”的应用，这是有我们前任社长昼马辉夫先生提出的。虽然遗憾的是目前仍没有确立这种技术，但QCL在气体分析领域仍然发挥了独特的作用。

饭田 ：光探测部分则是InAsSb(铟砷锑)光伏探测器。目前我们提供2种类型的产品，覆盖2.5μm~8μm的波长区域。

量子级联激光器(QCL)

InAsSb光伏探测器

Q：QCL和InAsSb光伏探测器各自有什么特别的性能吗?

杉山：首先说一下QCL。一般的半导体激光器，如果在数百nm中有多个波长发生震动时，光谱带宽变宽，受到多种气体的干扰，测量精度下降。而QCL采用的是DFB(分布式反馈激光器)结构，在内部设置了衍射光栅，可使光谱带宽非常狭小的单一波长振动。但是DFB很难实现产量，在产品化之初，我们为提高产品的合格率投入了非常多的精力。

落合 ：在不断提高DFB结构的制造技术同时，我们也推进了内置准直透镜的新产品的开发。新产品从激光芯片射出的光的范围变得更宽，因此与之前的产品相比，客户在设计光学系统时，无需再为激光通过对象物而改变光的形状。

Q：在内部置入准直透镜时，是否也付出了相当的精力?

落合：以往没有准直镜的QCL产品需要客户自己调整光轴。中红外光是不可见光，无论是在光学材料还是特殊的光学系统设计上都是相当花时间的。在QCL封装外部设置透镜的话，因为没有大小的要求，所以是比较容易对准的。但是，若是内置透镜，就需要在狭小的封装空间内，与光轴完成高精度的对准以及固定。同时还必须考虑因光学材料的反射产生的噪音的影响。

杉山：发射光斑大小只在10μm*10μm左右，要将这大约只有头发直径十分之一的光斑与光轴对准，可不是简单的事。而在出货检验时，安装了准直仪的透镜轴如果稍有偏差，都会成为不合格品。