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滨松公司2015年推出了一款最新的微型化光谱探测器——MEMS-FPIC13272。MEMSFPINIRSpectrumSensor,全称“微机电加工工艺制作法布里珀罗腔型近红外光谱探测器”,简称MEMS-FPI。是一款超小型、低成本的光谱探测器产品。虽说微型光谱仪也不是一个新鲜的概念了(2013年滨松就推出了指尖大小的微信光谱仪C12666MA),但是MEMS-FPIC13272的出现,对熟悉光谱仪行业的人来说也会是一个大惊喜。
原因很简单,因为这个器件彻底打破了传统意义上人们对于光谱仪的认知,不仅原理上跟传统光谱仪完全不同,还将微型化做到了新的极致。
既然是“微型化”,那“身材”肯定是棒棒哒。具体有多小,见上图就好了。之所以能够做得如此之小,主要是在三个方面的功夫:
1、该器件使用的分光技术不是大家所熟知的光栅,而是极为罕见的方法——法布里珀罗标准具,所以使得该光谱仪仅仅使用单点的InGaAs探测器,就能够得到光谱图。这么做的好处是可以用三个“大大”归纳:大大省了InGaAs材料,大大降了制作成本,大大减了探测器部分的体积。
2、法布里珀罗标准具的制作,采用的是MEMS加工方法,从而使分光部分的体积也减小不少。
3、探测器部分和分光部分被封装在了一个器件之中。
综上三点,笔头大的小身板儿就诞生了。
MEMS-FPI近红外光谱仪结构示意图
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