滨松光子“微型化”新品 笔头大小MEMS-FPI光谱探测器面世

滨松公司2015年推出了一款最新的微型化光谱探测器——MEMS-FPIC13272。MEMSFPINIRSpectrumSensor，全称“微机电加工工艺制作法布里珀罗腔型近红外光谱探测器”，简称MEMS-FPI。是一款超小型、低成本的光谱探测器产品。虽说微型光谱仪也不是一个新鲜的概念了（2013年滨松就推出了指尖大小的微信光谱仪C12666MA），但是MEMS-FPIC13272的出现，对熟悉光谱仪行业的人来说也会是一个大惊喜。

原因很简单，因为这个器件彻底打破了传统意义上人们对于光谱仪的认知，不仅原理上跟传统光谱仪完全不同，还将微型化做到了新的极致。

既然是“微型化”，那“身材”肯定是棒棒哒。具体有多小，见上图就好了。之所以能够做得如此之小，主要是在三个方面的功夫：

1、该器件使用的分光技术不是大家所熟知的光栅，而是极为罕见的方法——法布里珀罗标准具，所以使得该光谱仪仅仅使用单点的InGaAs探测器，就能够得到光谱图。这么做的好处是可以用三个“大大”归纳：大大省了InGaAs材料，大大降了制作成本，大大减了探测器部分的体积。

2、法布里珀罗标准具的制作，采用的是MEMS加工方法，从而使分光部分的体积也减小不少。

3、探测器部分和分光部分被封装在了一个器件之中。

综上三点，笔头大的小身板儿就诞生了。

MEMS-FPI近红外光谱仪结构示意图