半导体废气治理：春天将至 企业如何应对

2018年3月12日，生态环境部印发《电子工业污染物排放标准（二次征求意见稿）》（以下简称《二次征求意见稿》）。经历了十年时间多次修改后，电子工业污染物排放国家标准终于要出台了。

麒翰科技工程有限公司（以下简称“麒翰科技”）总经理高金磊认为，《二次征求意见稿》的发布就是为了改善电子工业特别是半导体行业污染治理没有国标的现状。可以想象，未来电子工业污染治理尤其是半导体废气治理或将迎来春天。

麒翰科技总经理高金磊

半导体废气治理曙光初现

半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为 “清洁”产业，但事实上，半导体生产过程中使用了大量有机和无机物，包括许多有毒有害物质，对环境危害较为严重，如不加以控制，将会产生较大的环境污染。

据国家统计局数据，截至2016年我国电子元件制造行业规模以上企业数量达5751家。我国的半导体行业市场集中度较高，主要集中在长江三角洲、珠江三角洲、环渤海以及中西部区域。产业的相对集中有利于环保治理的开展。随着国家对环保的重视，国家和地方相继发布了半导体行业废气排放标准。

2008年6月原环保部发布 “电子终端产品”、 “平板显示器、电真空及光电子器件” “半导体器件” “电子元件”等四项电子工业排放标准征求意见稿。

2013年原环保部将四项标准合并立项称为电子工业污染物排放标准，并于2015年10月发布《电子工业污染物排放标准》（征求意见稿）。

2018年3月原环保部发布了《电子工业污染物排放标准》（二次征求意见稿）。

相对于国标的难产，地方对于半导体行业VOCs排放控制时间更早些，标准也更严苛。

2006年，上海印发《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）。其中规定VOCs最高允许排放浓度为100mg/m³。

2007年北京发布《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2007）。其中规定半导体及电子产品制造VOCs的限值现有企业为50mg/m³，新建企业为20mg/m³。2018年北京市《电子工业大气污染物排放标准》（征求意见稿）。规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为20mg/m³，TVOCs是40mg/m³。

2014年天津市《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》（DB12/524-2014）。其中规定电子工业VOCs最高允许排放浓度为80mg/m³。

2017年广东发布《电子工业挥发性有机物排放标准》（征求意见稿）。其中规定VOCs最高允许排放浓度为30mg/m³。

2017年广东发布《电子设备制造业挥发性有机化合物排放标准》（征求意见稿）。其中规定VOCs最高允许排放浓度为40mg/m³。

2018年江苏省《半导体行业污染物排放标准》（征求意见稿）。规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为60mg/m³。

就此看来，半导体行业VOCs排放标准逐渐收紧是必然趋势。高金磊表示，相比台湾，大陆的半导体排放标准相对宽松。在环保的大背景下，半导体VOCs治理是大势所趋。在台湾半导体VOCs治理领域，麒翰科技业绩非常良好，希望能为大陆的半导体VOCs治理贡献自己的一份力量。

行业问题犹存

虽然，各地政府发布了很多半导体废气治理的相关政策，但相对其他行业，半导体废气治理相对滞后，同时整个半导体废气治理行业还存在着一些问题。

首先，国家排放标准缺失。

半导体产业发达的国家和地区，如美国、德国等都针对半导体行业制订了相应的排放标准，但我国尚未颁布半导体行业的排放标准。半导体行业仍在执行国家大气污染物综合排放标准或者参照执行地方标准，标准的缺失，给日常监管带来诸多不便。

半导体行业目前参照国家《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)，仅对排放的部分等污染物苯、甲苯、二甲苯等规定了排放限值，国内地方行业标准只有1~3个指标，不能面对行业排放污染物较多的实际问题；缺少行业特征污染物项目如苯系物、异丙醇、醛酮类、乙酸酯类等作为VOCs控制指标，也不能反映行业的生产特殊性。

高金磊认为，目前我国没有电子行业VOCs的标准限值标准，无法实现或者满足VOCs监控工作的需求。令人欣慰的是，部分地方政府出台的一些排放标准增加了半导体行业的特征污染物如异丙醇、丙酮等。

其次，治污效果不如人意。

当前半导体企业治污技术虽然很多但效果往往不尽人意。许多半导体企业都上了废气治理措施，但超标排污现象依然存在。

高金磊表示，目前半导体废气治理市场乱象丛生。很多半导体企业在选择治理技术时往往具有很强的盲目性，看到别的半导体企业采用什么技术路线就会选择相同的工艺，很少考虑企业自身的实际情况，导致花了冤枉钱治理效果还不理想。另外一些企业治理设施运行不当，导致废气排放量大，部分作业地点浓度比较高。还有一些企业认为只要通过环保验收就可以高枕无忧了，而疏于维护管理导致不能发挥正常治污效果。有的企业废气吸附处理装置内活性炭长期未更换，已饱和，起不到吸附作用。既达不到预期治理效果，也造成污染治理设施资源浪费。

最后，企业对环保不重视。

企业对环保工作重视程度不够、废气治理设施建设滞后。半导体属于高技术产业，轻微的污染就有可能造成非常严重的后果。举个例子，随着半导体制程不断的升级提高，尺寸进纳米级时代，对于半导体生产环境的要求越来越高，半导体洁净室内AMC的控制标准也提高了很多。AMC的尺寸比粒子要小得多, 相差几个数量级, 高效过滤器(HEPA) 或者超高效过滤器(ULPA) 根本无法去除AMC。

高金磊强调，魔鬼藏在细节里。AMC在生产过程中对不同制程产生不良的影响，严重时可能对产品造成致命的缺陷而影响良率。因此半导体企业一定要提高认识，重视AMC的控制，选择有效的控制技术从而提高产品良率。

基于半导体废气治理的现状，高金磊表示，麒翰科技希望能为半导体废气治理提供一种性价比高的技术，让半导体企业有更多的技术选择。

技术公司优势凸显

随着一批单纯追求规模、盲目扩张的企业倒下，业内人士认为，技术型公司迎来了发展机遇。

作为一家以技术见长的公司，麒翰科技在空气污染防治与溶剂回收处理方面一直走在行业前列。公司拥有全世界最先进的外气空调箱(MAU)水力薄膜吸收AMC控制技术，并在台积电、友达光电等企业应用，取得了非常不错的效果。

高金磊表示，环保技术复杂且综合。麒翰科技坚持做技术，一是因为自己本身就是技术出身，而且公司有一个技术团队。二是技术公司能够做到社会效益和经济效益相结合。另外技术是创新的根本，一个企业甚至一个民族要想发展，技术创新是核心竞争力。

麒翰科技是高科技产业空气污染防治及质量技术的专家，深耕高科技产业 (IC/TFT-LCD/LED/PV/Li -Battery etc. )空气污染防技术； 例如 , 挥发性有机废气 挥发性有机废气 (VOC)处理、酸碱处理、酸碱洗涤塔、洁净室气态分子 污染 (AMC)控制技术、 高沸点 VOCs 废气溶剂回收处理、酸性废气溶剂回收处理、酸性 /碱性 /有机烟雾 (白烟 )处理、NOx（黄烟）处理 , 异味 (DMS 醋酸 etc.)及溶剂回收问题超过二十年，并且已经发展出多项高效率溶剂回收及污染防制技术 。

高金磊表示，未来麒翰科技还将聚焦半导体行业废气治理。麒翰科技坚持技术领先，相信技术的力量，相信技术创新是企业发展的核心竞争力。另外麒翰科技坚持客户优先，追求高质量的客户体验，为客户提供完整的解决方案。

随着中国半导体行业的飞速发展，半导体行业废气排放达标及监管任务繁重。有效控制半导体生产对环境带来的影响，促进行业发展健康可持续发展，这是解决半导体行业发展的重要问题。

高金磊强调，重视每个处理系统的效率，防止交叉污染也是半导体废气治理的重要部分。目前半导体企业更多是关注末端治理，随着技术的逐渐成熟，由末端治理转向源头控制是未来的发展方向。

最后，高金磊表示对半导体废气治理而言，春天将至，至于能否抓住机遇，就看企业如何应对了。