江苏：《半导体行业污染物排放标准》（征求意见稿）-第2页-北极星大气网

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3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1半导体企业semiconductorindustry

指从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。

3.2特殊保护水域specialprotectedwaterarea

指《江苏省太湖水污染防治条例》中划定的太湖流域水域;GB3838中II类水域;由本省各市人民政府规定的居民集中式生活饮用水取水口卫生防护带水域。

3.3废气处理设施exhaustgascontroldevices

指处理废气的湿式洗涤塔、焚烧塔、吸收塔、冷凝塔或其他设备，但不包括工艺中设备自带的预处理设备。

3.4密闭排气系统closedventsystem

指可将设备或设备组件排出或逃逸的空气污染物捕集并输送至废气污染防治设备，使传送的气体不直接与大气接触的系统。

3.5现有企业existingfacility

指本标准实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业或生产设施。

3.6新建企业newfacility

指本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。

3.7直接排放directdisge

指排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。

3.8间接排放indirectdisge

指排污单位向公共污水处理系统排放水污染物的行为。

3.9公共污水处理系统publicwastewatertreatmentsystem

通过纳污管道等方式收集废水，为两家以上排污单位提供废水处理服务并且排水能够达到相关排放标准要求的企业或机构，包括各种规模和类型的城镇污水处理厂、区域(包括各类工业园区、开发区、工业聚集地等)废水处理厂等，其废水处理程度应达到二级或二级以上。

3.10挥发性有机物volatileorganiccompounds,VOCs

参与大气光化学反应的有机化合物，或者根据规定的方法测量或核算确定的有机化合物。

3.11非甲烷总烃non-methanehydrocarbon

采用规定的监测方法，检测器有明显响应的除甲烷外的碳氢化合物的总称(以碳计)。本标准使用“非甲烷总烃(NMHC)”作为排气筒和厂界挥发性有机物排放的综合控制指标。

3.12标准状态standardcondition

指温度为273.15K，压力为101325Pa时的状态。本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标准状态下的干气体为基准。

3.13企业边界enterpriseboundary

指半导体工业企业的法定边界。若无法定边界，则指企业的实际占地边界。

4污染物排放控制要求

4.1水污染物排放控制要求

4.1.1标准分级

4.1.1.1特殊保护水域内不准新建排污口。原有排污口执行表1标准和表2中的特别排放限值标准。

4.1.1.2现有企业2018年7月1日前仍执行现行标准，自2018年7月1日起执行表1、表2规定的水污染物排放限值。

4.1.1.3自2018年7月1日起，新建企业污水执行表1、表2规定的排放限值。

4.1.2标准值分类

4.1.2.1本标准将污染物按其性质及控制方式分成二类。

4.1.2.1.1第一类污染物，不分污水排放方式和受纳水体的功能类别，一律在车间或车间处理设施排放口采样，其最高允许排放浓度应达到本标准要求。

4.1.2.1.2第二类污染物，在排放单位排放口采样，其最高允许排放浓度应达到本标准要求。

4.1.2.2本标准对氟化物、悬浮物(SS)、生化需氧量(BOD5)、化学需氧量(CODCr)、氨氮5项污染物均规定了以日均值计的最高允许排放浓度和以瞬时值计的最高允许排放浓度两项指标，这5项污染物的排放应同时遵守上述两项指标。其他污染物的最高允许排放浓度以日均值计。

4.1.2.3企业向城镇污水处理厂排放废水时，水污染物排放执行表1、表2排放控制要求;企业废水排入公共污水处理系统的除总镉、总铬、六价铬、总砷、总铅、总镍、总银执行表1排放控制要求外，由企业与公共污水处理系统商定或执行相关标准，并报当地环境保护主管部门备案，公共污水处理系统排放应保证达到相关环保要求。

4.1.3标准值

半导体企业的水污染物排放执行表1和表2的规定。

4.2大气污染物排放控制要求

4.2.1位于GB3095中一类区的污染源禁止排放表3所列的大气污染物。

4.2.2现有企业2018年7月1日前仍执行现行标准，自2018年7月1日起执行本标准表3规定的排放限值。

4.2.3自2018年7月1日起，新建企业执行表3规定的排放限值。

4.2.4企业边界大气污染物任何1小时平均浓度执行表4规定的限值。

4.2.5为减少全氟化物(PFCs)排放对环境产生的影响，集成电路制造企业宜制订PFCs排放的年削减计划，通过优化工艺、原料替代、循环利用、污染治理等措施减少PFCs的排放。

4.2.6其他规定

4.2.6.1排气筒高度不应低于15m，具体高度按批准的环境影响评价文件要求确定。

4.2.6.2当排气筒周围半径200m范围内有建筑物时，除应执行4.2.6.1规定外，排气筒还应高出最高建筑物3m以上。

4.2.6.3如果排气筒高度达不到4.2.6.1、4.2.6.2的任何一项规定时，其大气污染物排放限值应按标准排放限值的50%执行。

4.2.6.4企业内部设置的锅炉，其大气污染物排放应执行GB13271。

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