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电子工业生产过程中,设备或车间排气筒排放大气污染物浓度执行表1规定的限值。
VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置除满足表1规定的限值外,还需对排放烟气中的氮氧化物、二噁英类进行控制,达到表2规定的限值。
前 言
本标准为全文强制。
本标准依据GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由北京市生态环境局提出并归口。
本标准由北京市人民政府于2019年6月4日批准。
本标准由北京市 本标准由北京市 本标准由北京市 生态环境 生态环境 局组织实施。 局组织实施。 局组织实施。
本标准主要起草单位:北京市环境保护科学研究院。
本标准主要起草人:李国昊、李树琰、李宗泽、刘晓宇、聂磊、邵霞、高喜超、白画画、石爱军、薛亦峰。
引 言
为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国大气污染防治法》、《大气污染防治行动计划》和《北京市大气污染防治条例》,防治电子工业的大气污染物排放,改善北京市大气环境质量,促进电子工业的技术进步和可持续发展,制定本标准。
电子工业大气污染物排放标准
1 范围
本标准规定了电子工业(包括电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件、电子终端产品)大气污染物排放控制要求、监测和监督管理要求。
本标准适用于现有电子工业企业或生产设施的大气污染物排放管理,以及电子工业建设项目的环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的大气污染物排放管理。
2 规范性引用文件
本标准内容引用了下列文件或其中的条款。凡是注明日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注明日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 15516 空气质量 甲醛的测定 乙酰丙酮分光光度法
GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法
GB/T 16758 排风罩的分类及技术条件
AQ/T 4274 局部排风设施控制风速检测与评估控制规范
HJ/T 27 固定污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法
HJ/T 28 固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法
HJ/T 30 固定污染源废气中氯气的测定 甲基橙分光光度法
HJ 38 固定污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 气相色谱法
HJ/T 42 固定污染源排气中氮氧化物的测定 紫外分光光度法
HJ/T 43 固定污染源排气中氮氧化物的测定 盐酸萘乙二胺分光光度法
HJ/T 55 大气污染物无组织排放监测技术导则
HJ/T 65 大气固定污染源 锡的测定 石墨炉原子吸收分光光度法
HJ/T 67 大气固定污染源 氟化物的测定 离子选择电极法
HJ 77.2 环境空气和废气 二噁英类的测定 同位素稀释高分辨气相色谱-高分辨质谱法
HJ 75 固定污染源烟气(SO2、NOX、颗粒物)排放连续监测技术规范
HJ/T 397 固定源废气监测技术规范
HJ 501 水质 总有机碳的测定 燃烧氧化-非分散红外吸收法
HJ 533 环境空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法
HJ 538 固定污染源废气 铅的测定 火焰原子吸收分光光度法(暂行)
HJ 544 固定污染源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法
HJ 548 固定污染源废气 氯化氢的测定 硝酸银容量法
HJ 549 环境空气和废气 氯化氢的测定 离子色谱法
HJ 583 环境空气 苯系物的测定 固体吸附/热脱附-气相色谱法
HJ 584 环境空气 苯系物的测定 活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法
HJ 604 环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气相色谱法
HJ 644 环境空气 挥发性有机物的测定 吸附管采样 热脱附/气相色谱-质谱法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1电子专用材料 special electronic materials
具有特定要求且只用于电子产品的材料。根据其作用与用途,包括电子功能材料:半导体材料、光电子材料、压电晶体材料、铝电解电容器电极箔;互联与封装材料:覆铜板及铜箔材料;工艺与辅助材料:电子浆料等。不包括磁性材料、陶瓷材料、锂离子电池材料、焊接材料等。具体产品范围见附录A。
3.2电子元件 electronic unit
电子电路中可对电压和电流进行控制、变换和传输等具有独立功能的单元。包括:电阻器、电容器、电子变压器、电感器、压电晶体元器件、电子敏感元器件与传感器、电接插元件、控制继电器、微特电机与组件、电声器件等产品。
3.3印制电路板 printed circuit board(PCB)
在绝缘基材上,按预定设计形成印制元件、印制线路或两者结合的导电图形的印制电路或印制线路成品板。包括刚性板与挠性板,单面印制电路板、双面印制电路板、多层印制电路板,以及刚挠结合印制电路板和高密度互连印制电路板等。
3.4半导体器件 semiconductor device
利用半导体材料的特殊电特性制造,以实现特定功能的电子器件。包括分立器件和集成电路两大类产品。
3.5光电子器件 photoelectron component
利用半导体光-电子(或电-光子)转换效应制成的各种功能器件。包括发光二极管(LED);半导体光电器件中的光电转换器、光电探测器等;激光器件中的气体激光器件、半导体激光器件、固体激光器件、静电感应器件等;光通信电路及其他器件;半导体照明器件等。
3.6显示器件 display device
基于电子手段呈现信息供视觉感受的器件。包括薄膜晶体管液晶显示器件(TN/STN-LCD、TFT-LCD)、低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件(LTPS-TFT-LCD)、有机发光二极管显示器件(OLED)、真空荧光显示器件(VFD)、场发射显示器件(FED)、等离子显示器件(PDP)、曲面显示器件以及柔性显示器件等。
3.7电子终端产品 electron terminals products
以采用印制电路板(PCB)组装工艺技术为基础装配的具有独立应用功能的电子产品或组件。包括计算机以及其他电子设备。
3.8挥发性有机物 volatile organic compounds(VOCs)
参与大气光化学反应的有机化合物,或者根据有关规定确定的有机化合物。
本标准采用非甲烷总烃(以NMHC表示)作为挥发性有机物综合控制项目。
3.9非甲烷总烃 non-methane hydrocarbons(NMHC)
采用规定的监测方法,氢火焰离子化检测器有响应的除甲烷外的气态有机化合物的总和,以碳的质量浓度计。
3.10企业边界 enterprise boundary
电子工业企业或生产设施的法定边界。若难以确定法定边界,则指企业或生产设施的实际占地边界。
3.11VOCs物料 VOCs-containing materials
VOCs质量占比大于等于10%的原辅材料、产品和废料(渣、液),以及有机聚合物原辅材料和废料(渣、液)。
3.12密闭排气系统 closed vent system
将工艺设备或车间排出或逸散出的大气污染物,捕集并输送至污染控制设备或排放管道,使输送的气体不直接与大气接触的系统。
3.13VOCs治理设施 treatment facility for VOCs
处理VOCs的吸收装置、吸附装置、冷凝装置、燃烧装置、生物处理设施或其它有效的污染处理设施。
3.14挥发性有机液体 volatile organic liquid
任何能向大气释放VOCs的符合以下任一条件的有机液体:(1)真实蒸气压大于等于0.3 kPa的单一组分有机液体;(2)混合物中真实蒸气压大于等于0.3 kPa的组分总质量占比大于等于20%的有机液体。
3.15真实蒸气压 true vapor pressure
有机液体工作(储存)温度下的饱和蒸气压(绝对压力),或者有机混合物液体气化率为零时的蒸气压,又称泡点蒸气压,可根据GB/T 8017测定的雷德蒸气压换算得到。
注:在常温下工作(储存)的有机液体,其工作(储存)温度按常年的月平均气温最大值计算。
3.16开式循环冷却水系统 open recirculating cooling water system
循环冷却水与大气直接接触散热的循环冷却水系统。
3.17现有污染源 existing pollution source
本标准实施之日前,已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的工业企业和生产设施。
3.18新建污染源 new pollution source
本标准实施之日起,环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的建设项目。
4 时段划分
4.1 现有污染源自本标准实施之日起至2020年3月31日止执行第Ⅰ时段规定的限值,自2020年4月1日起执行第Ⅱ时段规定的限值。
4.2 新建污染源自本标准实施之日起执行第Ⅱ时段规定的限值。
4.3 厂区内VOCs无组织监控要求自2020年4月1日起执行。
4.4 其他未划分时段的排放限值和控制要求等,自本标准实施之日起执行。
5 有组织排放控制要求
5.1 电子工业生产过程中,设备或车间排气筒排放大气污染物浓度执行表1规定的限值。
5.2 VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置除满足表1规定的限值外,还需对排放烟气中的氮氧化物、二噁英类进行控制,达到表2规定的限值。
5.3 进入VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置的废气需要补充空气进行燃烧、氧化反应的,排气筒中实测大气污染物排放浓度,应按公式(1)换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度,并以基准排放浓度作为达标判定依据。进入VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置中废气含氧量可满足自身燃烧、氧化反应需要,不需另外补充空气的(燃烧器需要补充空气助燃的除外),按排气筒中实测大气污染物浓度作为达标判定依据,但装置出口烟气含氧量不得高于装置进口废气含氧量。
5.4 非燃烧(焚烧、氧化)类废气处理装置的排放口以实测浓度作为达标判定依据。
5.5 排气筒高度应按环境影响评价要求确定,且应不低于15m。排气筒排放氯气、氰化氢两种污染物中任一种或一种以上时,其高度应不低于25m。
5.6 当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时,应在废气混合前进行监测,并执行相应的排放控制要求。若可选择的监控位置只能对混合后的废气进行监测,则应按各排放控制要求中最严格的规定执行。
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