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数据来源:《电子工业污染物排放标准(二次征求意见稿)》编制说明、韦伯咨询整理
集成电路制造的核心工艺流程主要包括:掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺。集 成电路制造工艺主要废气污染物见下表。
数据来源:《电子工业污染物排放标准(二次征求意见稿)》编制说明、韦伯咨询整理
2、泛半导体工艺废气治理的必要性
泛半导体行业客户生产过程中大量使用湿电子化学品和特殊气体,生产环节
持续产生成分复杂的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和
排放,废气治理系统及设备是客户生产工艺不可分割的组成部分,其安全稳定性 直接关系到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。
(1)影响产能利用率
泛半导体生产工艺是高度自动化的连续工序,大部分
环节对工艺设备的排气压力存在较高要求。当工艺废气治理系统发生故障,未能
同步对工艺废气进行收集、治理和排放时,会导致连续工序中断,直接影响客户 产线的稳定运行,从而影响产能利用率。
(2)影响产品良率
泛半导体生产工艺精密度极高,对生产环境的洁净度要求严格,生产过程均在高等级洁净室内进行。工艺废气自工艺设备进入工艺排气管道后,如因工艺废气治理系统故障导致负压不稳定,或者工艺排气管道泄漏, 致使洁净室内空气环境改变,可能导致产品良率下降乃至报废。
(3)危及员工职业健康
泛半导体生产工艺中产生的挥发性有机物及其光化学反应产物等对人体健康有直接危害,通过呼吸道、皮肤等进入人体,导致各种 急慢性健康问题,包括粘膜刺激、炎症、心肺疾病和癌症等。
(4)破坏生态环境
泛半导体生产工艺通常是高能耗、高水耗、高频率产生和排放有毒有害污染物的过程,会排放酸性、碱性、有机、有毒和含尘废气等。酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液刻蚀、清洗过程,碱性废气主要来源于光刻、显影、化学机械抛光等工艺,有机废气主要来源于涂胶、显影工序以及各工序使用有机溶剂清洗过程,有毒有害废气主要来自于化学气相沉积、干法 刻蚀和离子注入等工序。
二、垃圾焚烧发电行业
1、垃圾焚烧发电的产污情况
根据《生活垃圾焚烧污染控制标准》(GB 18485-2014),垃圾焚烧主要废气 污染物见下表
数据来源:《生活垃圾焚烧污染控制标准》(GB 18485-2014)、韦伯咨询整理
2、垃圾焚烧烟气治理的必要性
垃圾焚烧烟气成分复杂,气体包括二氧化硫、一氧化碳等,烟尘颗粒物包括灰分、无机盐类、重金属氧化物等,危害生态环境,常见的有酸雨、臭氧空洞、温室效应、厄尔尼诺等。此外,垃圾焚烧后还可能产生剧毒物,如二噁英,威胁 人类生命健康。
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临汾市人民政府12月6日发布《2024—2025年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案》,其中提出实施工业企业污染治理。12月底前,古县盛隆泰达、宏源焦化项目实现熄焦方式“干备干”,加快推动安泽圣鑫、蔺鑫焦化项目备用干熄焦建设;持续开展创A退D工作,12月底前,全市A、B(B-)级和引领性企业数量力争达
中国政府采购网发布石家庄市大气污染源监测监控及治理能力建设(一期)项目竞争性谈判公告,预算金额为3481.833200万元。采购需求:对全市涉气相关工业企业安装生产设施及污染治理设施用电(能)监控系统共计20979套,安装废气非甲烷总烃连续监测系统68套,并配套建设石家庄市大气综合监管系统1套,对
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11月4日,山西省人民政府发布《山西省深入推进以人为本的新型城镇化战略实施方案(2025—2029年)》。提出提高城市防洪排涝能力。推进“海绵城市”建设,稳妥推进雨污分流改造,加强雨水管网、泵站建设改造和排涝通道系统整治。促进城市清洁低碳绿色发展。加快建立城市生活垃圾分类处理系统,提高垃圾
为推动空气质量持续改善,陕西省人民政府制定并于9月23日发布《陕西省人民政府关于深化大气污染治理推进实现“十四五”空气质量目标的实施意见》,陕西省将有序开展重点行业深度治理。完成国家下达的钢铁、水泥、焦化超低排放改造任务。推进玻璃、石灰、矿棉、有色等行业深度治理。加强生物质锅炉监管
10月12日,国家电投集团远达环保股份有限公司发布关于筹划重大资产重组事项的停牌进展公告,远达环保正在筹划重大资产重组事项,拟由公司发行A股股票或发行A股股票及支付现金购买中国电力国际发展有限公司下属的五凌电力有限公司、国家电投集团广西长洲水电开发有限公司等单位控股股权并同步募集配套资
起伏的屋面上布满绿植和白沙,与远处的海平面交相辉映,建筑物外立面上的景观效果随光线变化而闪烁变化,高耸的烟囱如同一座山顶屹立在一角……这里是宝山再生能源利用中心,一座花园式垃圾处理厂。2019年底,由上海实业(集团)有限公司牵头、中国宝武钢铁集团有限公司参与,联合投资成立上海上实宝金
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从2024年固废领域的发展现状来看,似乎每一个细分领域都遇到了发展瓶颈,垃圾焚烧发电产能过剩、环卫服务内卷频发、固危废处置能力发展不平衡与过剩等问题加剧。但从长远来看,固废领域势必将朝着更加绿色、低碳、循环的方向发展,从央国企的动作来看,资源再生成为新一轮争抢的热门市场。北极星固废网
日前,推动成渝地区双城经济圈建设联合办公室印发《2025年共建成渝地区双城经济圈重点项目名单》。今年,川渝将携手共建320个重点项目,涵盖了两地交通、能源、水利、产业、科技、消费及生态等多个领域,其中涉及多个环保项目,北极星汇总如下:1、长江上游凯江、郪江流域生态修复项目2、龙溪河生态修
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2月11日,广东省龙川县能源生态园项目招标公告发布。文件显示,本项目特许经营合作范围为本项目生活垃圾总处理规模为900t/d,本期建设规模为600t/d,配置1×600t/d机械炉排炉焚烧线及对应配套系统(包括烟气净化系统及辅助系统等),配置1×12MW纯凝式汽轮机1×15MW发电机组,预留远期扩建空间。同时项
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在备受业界瞩目的“北极星杯”2024烟气治理影响力企业评选活动中,杭州楚环科技股份有限公司凭借其在废气治理领域的卓越表现,荣获“北极星杯”2024废气监测/治理影响力企业称号。这已是楚环科技连续第七年获此殊荣,不仅彰显了公司在废气治理技术方面的专业实力,同时也证明了公司在行业内的领先地位
佛山市生态环境局发布关于提醒做好VOCs废气高效治理设施安全生产管理的函,敦促辖区内相关企业切实做好VOCs废气高效治理设施尤其是RTO治理工艺设施的安全生产管理。佛山市生态环境局关于提醒做好VOCs废气高效治理设施安全生产管理的函全市各相关企业:近年来,佛山市深入推进重点行业VOCs规范化治理,
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江西省公共资源交易平台发布江西大地制药有限责任公司2024年度VOCs废气治理技术设备采购项目招标公告,项目预算1400万元。江西大地制药有限责任公司2024年度VOCs废气治理技术设备采购项目招标项目的潜在投标人应在江西省公共资源交易网获取招标文件,并于2024年11月8日9点30分(北京时间)前递交投标文
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