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数据来源:《电子工业污染物排放标准(二次征求意见稿)》编制说明、韦伯咨询整理
集成电路制造的核心工艺流程主要包括:掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺。集 成电路制造工艺主要废气污染物见下表。
数据来源:《电子工业污染物排放标准(二次征求意见稿)》编制说明、韦伯咨询整理
2、泛半导体工艺废气治理的必要性
泛半导体行业客户生产过程中大量使用湿电子化学品和特殊气体,生产环节
持续产生成分复杂的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和
排放,废气治理系统及设备是客户生产工艺不可分割的组成部分,其安全稳定性 直接关系到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。
(1)影响产能利用率
泛半导体生产工艺是高度自动化的连续工序,大部分
环节对工艺设备的排气压力存在较高要求。当工艺废气治理系统发生故障,未能
同步对工艺废气进行收集、治理和排放时,会导致连续工序中断,直接影响客户 产线的稳定运行,从而影响产能利用率。
(2)影响产品良率
泛半导体生产工艺精密度极高,对生产环境的洁净度要求严格,生产过程均在高等级洁净室内进行。工艺废气自工艺设备进入工艺排气管道后,如因工艺废气治理系统故障导致负压不稳定,或者工艺排气管道泄漏, 致使洁净室内空气环境改变,可能导致产品良率下降乃至报废。
(3)危及员工职业健康
泛半导体生产工艺中产生的挥发性有机物及其光化学反应产物等对人体健康有直接危害,通过呼吸道、皮肤等进入人体,导致各种 急慢性健康问题,包括粘膜刺激、炎症、心肺疾病和癌症等。
(4)破坏生态环境
泛半导体生产工艺通常是高能耗、高水耗、高频率产生和排放有毒有害污染物的过程,会排放酸性、碱性、有机、有毒和含尘废气等。酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液刻蚀、清洗过程,碱性废气主要来源于光刻、显影、化学机械抛光等工艺,有机废气主要来源于涂胶、显影工序以及各工序使用有机溶剂清洗过程,有毒有害废气主要来自于化学气相沉积、干法 刻蚀和离子注入等工序。
二、垃圾焚烧发电行业
1、垃圾焚烧发电的产污情况
根据《生活垃圾焚烧污染控制标准》(GB 18485-2014),垃圾焚烧主要废气 污染物见下表
数据来源:《生活垃圾焚烧污染控制标准》(GB 18485-2014)、韦伯咨询整理
2、垃圾焚烧烟气治理的必要性
垃圾焚烧烟气成分复杂,气体包括二氧化硫、一氧化碳等,烟尘颗粒物包括灰分、无机盐类、重金属氧化物等,危害生态环境,常见的有酸雨、臭氧空洞、温室效应、厄尔尼诺等。此外,垃圾焚烧后还可能产生剧毒物,如二噁英,威胁 人类生命健康。
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4月9日,罗甸县人民政府办公室关于印发罗甸县空气质量持续改善行动实施方案的通知,通知指出,大力发展新能源产业,积极推进风电、光伏发电基地化、规模化、一体化发展,全力将我县打造成为黔南州首个百万千瓦级新能源基地,因地制宜开发分散式风电、分布式光伏,科学布局建设新型储能。加快电网工程项
4月3日,历时3天的2025成都国际环保博览会暨中欧绿色低碳博览会(ECOMONDOCHINA-CDEPE2025)顺利落下帷幕。意大利对外贸易委员会(ItalianTradeAgency,以下简称ITA)组织了14家意大利环保低碳企业组成意大利国家馆,展示了绿色环保、资源循环利用等方面的创新技术和解决方案。4月1日上午,意大利对外贸易
为持续推进大气污染治理专项行动,补齐空气质量不优的短板弱项,经市委、市政府同意,咸阳印发了《咸阳市2025年空气质量改善进位行动方案》(以下简称《方案》),全力推进空气质量改善进位。《方案》分为目标要求、重点任务、加强组织保障三个部分。目标要求:以减排、减煤、减卡为重点,处理好高质量
汇集高品质企业的西部盛会——第6届中国环博会成都展与您相约展会时间:2025年6月25-27日展览面积:35,000㎡(预计)展会地点:成都·中国西部国际博览城展商数量:500家(预计)专业观众:30,000人(预计)组织机构主办单位l慕尼黑博览集团l中贸慕尼黑展览(上海)有限公司承办单位l中贸慕尼黑展览(上海)有限
3月27日,陕西西安市政府印发《西安市推进实现“十四五”空气质量目标暨大气污染治理专项行动2025年工作方案》。方案提出,大力发展新能源和清洁低碳能源。持续加强煤炭消费总量控制,严禁新增煤电装机规模。推动燃煤热电企业关停。加快优化集中供热结构。2025年热电机组采暖季热电比平均保持在110%以
北极星储能网获悉,3月27日,陕西西安市政府印发《西安市推进实现“十四五”空气质量目标暨大气污染治理专项行动2025年工作方案》。方案提出,建设新能源汽车应用示范标杆城市。大力建设充换电基础设施,以公共领域用车为重点推进新能源化。以下为政策原文:西安市人民政府办公厅关于印发推进实现“十
日前,西安市政府印发《西安市推进实现“十四五”空气质量目标暨大气污染治理专项行动2025年工作方案》。方案提出,2025年,PM2.5浓度不超过41微克/立方米,优良天数不少于263天,力争完成省上下达我市重污染天数控制指标;氮氧化物和挥发性有机物(VOCs)排放总量比2020年分别下降9410吨、6570吨。详
3月26日,生态环境部举行3月例行新闻发布会。生态环境部宣教司司长、新闻发言人裴晓菲主持发布会。以下是3月例行新闻发布会最新情况通报。一、全国碳排放权交易市场首次扩围按照国务院部署要求,今天,生态环境部发布了《全国碳排放权交易市场覆盖钢铁、水泥、铝冶炼行业工作方案》(以下简称《方案》
近日,湖北省环境厅印发《2025年度大气污染防治攻坚要点》。文件提出,加快实施超低排放改造。2025年底前,完成14家钢铁企业超低排放改造,完成3家企业锅炉超低排放改造,推动36家水泥企业实施超低排放改造。详情如下:省生态环境厅关于印发《2025年度大气污染防治攻坚要点》的通知鄂环办〔2025〕10号
近日,山东省生态环境厅印发《山东省黄河生态保护治理攻坚战2025年工作要点》。详情如下:关于印发《山东省黄河生态保护治理攻坚战2025年工作要点》的通知鲁环字〔2025〕18号各市生态环境局、发展改革委、工业和信息化局、自然资源和林业主管部门、住房城乡建设局、水利(水务)局、农业农村局:现将《
近期,东方电气木垒100万千瓦风电项目二标段首台10MW风机成功并网发电。本次率先接入总网的风机为二标段4#地块108机位,标志着项目逐渐进入并网发电阶段。据悉,该项目位于新疆木垒县东南部大石头风场,距离县城约70公里,规划安装35台东方电气自主研制的半直驱风力发电机组,总装机容量达100万千瓦。
从一季度垃圾焚烧发电项目中标情况来看,今年垃圾焚烧发电市场仍是“老样子”,稍有些亮点。从统计数据来看,第一季度共开标+签约9个垃圾焚烧发电项目,平均垃圾焚烧处理单价为146.38元/吨,从表里也能看出,除昆明市东川区生活垃圾焚烧发电项目处理单价在80元/吨外,其余项目的处理单价均在100元/吨以
2025年4月10日10点58分,随着主控室并网指令的发出,由长江产业投资集团下属湖北省生态环保有限公司所投资的京山市生活垃圾焚烧发电项目顺利点火并成功并网发电,正式进入投产试运行阶段。发电机组的成功并网标志着京山市垃圾无害化处理、资料化利用及绿色能源可持续发展领域迈出里程碑式的一步。京山
4月10日,瀚蓝环境公布2024年年度报告,报告期实现营业收入118.86亿元,同比下降5.22%;归属于上市公司股东的净利润16.64亿元,同比增长16.39%;基本每股收益2.04元。拟每10股派发现金红利8元(含税)。
当前,垃圾焚烧发电行业的数智化技术已经取得了显著成效。该技术通过大数据分析、机器深度学习和人工智能管理,可以实现垃圾焚烧的精准预测、智能控制、稳定运行和高效燃烧。在大数据飞速发展的今天,垃圾焚烧发电行业与数智化结合越来越紧密,以上海环境为代表的垃圾焚烧发电龙头企业肩负起助力行业高
北极星垃圾发电网获悉,甘肃积石山保安族东乡族撒拉族自治县城市管理综合行政执法队招标项目的潜在投标人应在临夏州公共资源交易网社会公众可通过甘肃省公共资源交易网免费下载或查阅招标文件。获取招标文件,并于2025-04-3015:00:00(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况招标编号:LXZC217202
4月9日,由上海市水务局、上海交易集团、上海环境能源交易所牵头举办的水权交易品牌发布暨“水善流”取水权行政管理服务信托启动仪式在上海环境能源交易所举行。该信托为全国首创的绿色金融产品,上海环境下属天马再生能源项目2025年度70万方取水权被纳入首批信托。取水权信托是指拥有富余额度的取水权
4月7日,广东清远市北部能源生态园项目(一期)特许经营权项目招标。总投资为48831万元。建设内容:本项目建设内容主要为生活垃圾焚烧发电厂主厂房等建(构)筑物、处理系统、配套设施设备及附属工程的建设。本项目建设规模为800t/d的生活垃圾焚烧发电厂,配置1台800t/d焚烧炉及其配套辅助设施,配置1台20M
北极星垃圾发电网获悉,山西省和顺县人民政府公示和顺县生活垃圾焚烧发电项目社会影响调查,项目总投资32115.58万元,建设一座日处理生活垃圾500吨的生活垃圾焚烧发电厂,对服务范围内的生活垃圾进行处置,实现垃圾减量化、无害化、资源化的处理目标,服务区范围为和顺县、昔阳县、左权县及榆社县各县
4月8日上午,禄劝县生活垃圾焚烧发电项目开工仪式在禄劝产业园区标准化厂房东侧、新兴职业学院东南2公里处盛大举行,这一仪式标志着该项目正式进入建设阶段。项目开工仪式现场气氛热烈。各级领导、项目相关负责人、建设单位代表以及众多关心该项目的群众齐聚一堂。出席仪式的领导在致辞中强调了禄劝县
近日,高能环境在投资互动平台上表示,公司环保运营服务板块以生活垃圾焚烧发电项目为主,目前在手运营13个生活垃圾焚烧发电项目,合计日处理能力超过每日万吨级别,2024年度发电量13.57亿度,全部并入国家电网。
近年来,垃圾焚烧烟气污染物排放标准不断提高,这对垃圾发电企业提出了更高的要求。在第六届全国垃圾焚烧发电项目运营管理与创新应用研讨会上,北京予知环保科技有限公司(简称“予知环保”)总经理助理张运表示,垃圾焚烧烟气提标改造已成为行业必然趋势,而予知环保研发的高活性氢氧化钙脱酸材料,为
中冶南方都市环保工程技术股份有限公司现面向社会公开招募优质供应商。诚挚欢迎符合条件的企业报名参与,具体事项公告如下:01公司简介中冶南方都市环保工程技术股份有限公司是由世界500强企业中国五矿集团旗下中冶南方工程技术有限公司控股的国家级高新技术企业。公司专注于能源清洁高效利用、固废处
3月25日,广西北港新材料有限公司综微公司超低排放改造废气治理项目EPC总承包招标中标公告发布。同兴环保科技股份有限公司中标,中标价格:2159.8万元。
3月21日,广西北港新材料有限公司综微公司超低排放改造废气治理项目EPC总承包中标候选人公示。中标候选人第1名:同兴环保科技股份有限公司,投标报价:2159.8万元;中标候选人第2名:北京中航泰达环保科技股份有限公司,投标报价:2326.69万元;中标候选人第3名:江苏天洁环保装备有限公司,投标报价:2
北极星氢能网获悉,3月11日,重庆市巴南区人民政府发布了《重庆市巴南区空气质量持续改善行动实施方案》的通知。该通知明确指出,将在社区层面积极推动氢能的应用,具体涉及燃料电池车辆、综合发电系统、备用电源以及热电联供系统等领域,作为传统能源的替代。同时,通知还强调了绿氢的推广使用,特别
北极星汇总一周大气治理招投标项目信息(3.3-3.7)。其中招标项目11个,涉及金额超2.66亿,开标项目8个,中标金额约5.3亿元,涵盖火电、钢铁、水泥等多个行业。仅汇总工程项目,不包含设备、服务等项目。北极星根据公开资料汇总,若有疏漏敬请谅解。详情如下:招标项目如下:1、重庆建峰新材料有限责任
导语:2025年是习近平总书记“绿水青山就是金山银山”理念提出20周年,“双碳”战略目标宣示5周年,也是深入推进绿色转型发展、建设美丽中国的关键一年。为深入贯彻习近平生态文明思想,展示近年来生态文明建设成果,推进生态环保产业高质量发展,中国环境保护产业协会拟定于2025年4月10日-12日在北京
2月28日,广西北港新材料有限公司综微公司超低排放改造废气治理项目EPC总承包招标公告发布。该项目主要根据现场设备设施,生产工艺等完成无组织排放及清洁运输改造。满足国家相关工程质量要求及国家钢铁行业相关超低排放验收标准《关于推进实施钢铁行业超低排放的意见环大气[2019]35号》和《钢铁企业超
2月17日,横店集团东磁股份有限公司在国际企业社会责任评估机构EcoVadis的严格评审中脱颖而出,荣获该机构集团级(group)银牌勋章,这意味着其ESG表现在所有参评企业中位列前15%,在光伏和磁性材料行业更是处于领先地位。EcoVadis是全球公认的企业可持续发展绩效评级平台,其评估体系涵盖环境、劳工与
会馆名称:上海新国际博览中心(浦东)会展地址:上海浦东新区龙阳路2345号开始时间:2025年6月24日结束时间:2025年6月26日主办单位:InformaMarkets、中国医药保健品进出口商会协办单位:上海博华国际展览有限公司一、展会概况在全球医药行业蓬勃发展的浪潮中,中国医药行业正展现出强劲的增长势头。据
北极星VOCs在线获悉,1月20日,珠海天威科创园有机废气处理工程vocs废气治理项目(第二次)中标结果公告,广东龙贲环境设计院有限公司中标该项目,中标价格为246万元,公示如下:
导读:为及时反映生态环保产业过往一年的发展动态,预测新一年的发展趋势,我会组织各分支机构编写了《2024年行业评述和2025年发展展望》,供环保企事业单位、专家和管理者参考。本文为《2024年有机废气治理行业评述和2025年发展展望》,作者为中国环境保护产业协会废气净化专业委员会王喜芹、李京芬、
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