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数据来源:《电子工业污染物排放标准(二次征求意见稿)》编制说明、韦伯咨询整理
集成电路制造的核心工艺流程主要包括:掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺。集 成电路制造工艺主要废气污染物见下表。
数据来源:《电子工业污染物排放标准(二次征求意见稿)》编制说明、韦伯咨询整理
2、泛半导体工艺废气治理的必要性
泛半导体行业客户生产过程中大量使用湿电子化学品和特殊气体,生产环节
持续产生成分复杂的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和
排放,废气治理系统及设备是客户生产工艺不可分割的组成部分,其安全稳定性 直接关系到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。
(1)影响产能利用率
泛半导体生产工艺是高度自动化的连续工序,大部分
环节对工艺设备的排气压力存在较高要求。当工艺废气治理系统发生故障,未能
同步对工艺废气进行收集、治理和排放时,会导致连续工序中断,直接影响客户 产线的稳定运行,从而影响产能利用率。
(2)影响产品良率
泛半导体生产工艺精密度极高,对生产环境的洁净度要求严格,生产过程均在高等级洁净室内进行。工艺废气自工艺设备进入工艺排气管道后,如因工艺废气治理系统故障导致负压不稳定,或者工艺排气管道泄漏, 致使洁净室内空气环境改变,可能导致产品良率下降乃至报废。
(3)危及员工职业健康
泛半导体生产工艺中产生的挥发性有机物及其光化学反应产物等对人体健康有直接危害,通过呼吸道、皮肤等进入人体,导致各种 急慢性健康问题,包括粘膜刺激、炎症、心肺疾病和癌症等。
(4)破坏生态环境
泛半导体生产工艺通常是高能耗、高水耗、高频率产生和排放有毒有害污染物的过程,会排放酸性、碱性、有机、有毒和含尘废气等。酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液刻蚀、清洗过程,碱性废气主要来源于光刻、显影、化学机械抛光等工艺,有机废气主要来源于涂胶、显影工序以及各工序使用有机溶剂清洗过程,有毒有害废气主要来自于化学气相沉积、干法 刻蚀和离子注入等工序。
二、垃圾焚烧发电行业
1、垃圾焚烧发电的产污情况
根据《生活垃圾焚烧污染控制标准》(GB 18485-2014),垃圾焚烧主要废气 污染物见下表
数据来源:《生活垃圾焚烧污染控制标准》(GB 18485-2014)、韦伯咨询整理
2、垃圾焚烧烟气治理的必要性
垃圾焚烧烟气成分复杂,气体包括二氧化硫、一氧化碳等,烟尘颗粒物包括灰分、无机盐类、重金属氧化物等,危害生态环境,常见的有酸雨、臭氧空洞、温室效应、厄尔尼诺等。此外,垃圾焚烧后还可能产生剧毒物,如二噁英,威胁 人类生命健康。
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2025年,青海省科技厅以“开局即冲刺”的奋进姿态,锚定省委省政府“一季度开门红”目标,围绕打造生态文明高地和建设产业“四地”,针对青海省经济社会发展的堵点难点,突出科技创新与产业创新融合,因地制宜培育和发展新质生产力,提出“百项计划攻坚行动”,加快组织实施一批科技项目,突破重点,带
根据北极星电力网的统计,近期,河北、河南、江苏、贵州等地能源主管部门相继发布公告,明确了29台火电机组的关停情况。在此次关停名单中,秦皇岛发电厂(秦电)、下花园热电(园电)、习水电厂、潘三电厂等一批曾为区域经济与民生保障提供过重要能源支撑的“功勋电厂”赫然在列。关停机组名单速览秦电
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2025煤矿与煤化工环保产业大会暨第四届鄂尔多斯能源化工环保技术装备展示对接会为贯彻落实习近平总书记生态文明建设思想和关于推进“新型工业化”的重要指示,推动煤矿与煤化工产业绿色健康发展,中国煤炭加工利用协会联合鄂尔多斯市环保投资有限公司等单位定于2025年6月20-22日在内蒙古鄂尔多斯市联合
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4月21日,公布2024年年报,公司营业收入为42.9亿元,同比下降1.47%;归母净利润为2.41亿元,同比增长5.51%;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润2.06亿元,同比增长16.92%;基本每股收益0.27元/股。公告显示,2024年在大气污染治理及环保水务领域均取得显著进展。大气事业部获得订单32.6亿元
2025年4月3日,为期三天的第19届成都国际环保博览会暨中欧绿色低碳博览会(ECOMONDOCHINA-CDEPE2025)在成都世纪城新国际会展中心圆满落幕。本届博览会由意大利展览集团(IEG)及其在蓉合资公司成都华意中联展览展览有限公司(ECEE),联合四川省环境保护产业协会(SCEPI)主办,再次彰显其作为可持续发展、技
为持续推进大气污染治理专项行动,补齐空气质量不优的短板弱项,经市委、市政府同意,咸阳印发了《咸阳市2025年空气质量改善进位行动方案》(以下简称《方案》),全力推进空气质量改善进位。《方案》分为目标要求、重点任务、加强组织保障三个部分。目标要求:以减排、减煤、减卡为重点,处理好高质量
汇集高品质企业的西部盛会——第6届中国环博会成都展与您相约展会时间:2025年6月25-27日展览面积:35,000㎡(预计)展会地点:成都·中国西部国际博览城展商数量:500家(预计)专业观众:30,000人(预计)组织机构主办单位l慕尼黑博览集团l中贸慕尼黑展览(上海)有限公司承办单位l中贸慕尼黑展览(上海)有限
3月27日,陕西西安市政府印发《西安市推进实现“十四五”空气质量目标暨大气污染治理专项行动2025年工作方案》。方案提出,大力发展新能源和清洁低碳能源。持续加强煤炭消费总量控制,严禁新增煤电装机规模。推动燃煤热电企业关停。加快优化集中供热结构。2025年热电机组采暖季热电比平均保持在110%以
上海上实宝金刚环境资源科技有限公司成立于2019年9月,由上实集团与宝武集团共同出资设立,是宝山再生能源利用中心项目主体,从事垃圾焚烧发电工程的建设、维修、管理,并服务城市传统工业区的功能转型升级。近日,北极星环保网到访上海宝山再生能源利用中心,实地考察这一国内领先的垃圾焚烧发电项目
三峰环境5月22日发布公告称,2025年5月22日收盘后,公司收到控股股东德润环境《关于增持计划的告知函》,德润环境已于5月22日通过集中竞价交易方式增持公司股份约26万股。德润环境计划自本公告披露日起12个月内以大宗交易或集中竞价交易方式增持公司股份,计划增持金额不低于人民币1.5亿元、不超过人民
5月21日,中节能(北京)节能环保工程有限公司1×600t/d生活垃圾焚烧发电项目SCR系统设备中标候选人公示。第一中标候选人:盐城市兰丰环境工程科技有限公司,投标价格:5390000元,拟中标价:5390000元;第二中标候选人:上海康恒环境股份有限公司,投标价格:5980000元;第三中标候选人:江苏华星东方
从“废”到“贵”生物质能价值链日趋成型来源:中国能源观察记者王睿佳生物质能作为全球公认的零碳属性可再生能源,在推动全球能源转型,实现“双碳”目标中扮演着重要角色。我国是生物质资源最丰富的国家之一,生物质能以其独特的属性,成为能源结构优化的战略支点。中国产业发展促进会会长于彤在“20
5月16日,沈阳新基发展有限公司所属康平县生活垃圾焚烧发电项目(简称“康平项目”)首次孤网运行取得圆满成功。据悉,康平生活垃圾焚烧项目由沈阳基础产业建设发展集团有限公司、上海康恒环境有限公司和八冶建设环境工程(沈阳)有限公司共同出资建设,项目总投资约3.146亿元,日处理生活垃圾500吨。
5月20日,在京山市质监部门及有关单位的全程监督指导下,联合勘察、设计、代建、施工、监理、审计、建设等单位对京山市生活垃圾焚烧发电项目开展全面核验,经过现场勘查、专项汇报、研究讨论后,确认京山项目各项指标均符合相关规范要求,一致同意通过竣工验收。此项目由湖北省生态环保有限公司和安徽
5月19日,云南普洱市镇沅县生活垃圾焚烧发电厂项目EPC工程总承包招标计划发布。普洱市镇沅县生活垃圾焚烧发电厂项目处理规模为日处理生活垃圾300吨/日,年处理10.95万吨,配置1条300吨/天的焚烧线、余热锅炉和烟气净化系统,1台6MW凝汽式汽轮发电机组。具体包括垃圾焚烧系统、余热发电系统、烟气净化系
垃圾焚烧发电作为高效的垃圾处理与能源回收手段,在全球得到广泛应用。余热炉作为垃圾焚烧发电系统的核心设备,其烟道的通畅性直接关系到系统的稳定运行与发电效率。然而,在实际运行中,余热炉的二三烟道堵塞问题频发,严重影响余热炉性能及整个垃圾焚烧发电系统的正常运转。因此,深入剖析烟道堵塞原
5月16日,中工国际公告,公司拟在乌兹别克斯坦安集延市投资、建设及运营一座日处理垃圾1500吨生活垃圾焚烧发电厂项目,预计项目总投资1.78亿美元。另外,公司拟在乌兹别克斯坦塔什干市投资、建设及运营一座日处理垃圾2500吨生活垃圾焚烧发电厂项目,预计项目总投资2.97亿美元。
日前,昆明市东川区综合行政执法局对东川区生活垃圾焚烧发电项目环境影响评价第一次公示。该项目设计处理规模为300吨/日,建设地点位于处昆明市东川区四方地工业园区南侧,建设单位为云南国润瀚海环境产业有限公司。招标文件显示,项目总投资27601.08万元,安装1*300吨/日垃圾焚烧炉排炉系统及1台中温
5月15日,新乡市生活垃圾焚烧发电项目SCR脱硝系统改造EPC供货及安装招标公告发布。新乡项目现有现有2台750td炉排烧炉1余热锅炉,烟气净化系统目前采用SNCR+半干法(旋转喷雾反应塔)+干法(喷射氧化钙)+活性炭喷射+布袋除尘器+烟气再循环+PNCR”。本次采购设备范围为在1#、2#垃圾焚烧线增设SGH(蒸汽-烟气
中冶南方都市环保工程技术股份有限公司现面向社会公开招募优质供应商。诚挚欢迎符合条件的企业报名参与,具体事项公告如下:01公司简介中冶南方都市环保工程技术股份有限公司是由世界500强企业中国五矿集团旗下中冶南方工程技术有限公司控股的国家级高新技术企业。公司专注于能源清洁高效利用、固废处
3月25日,广西北港新材料有限公司综微公司超低排放改造废气治理项目EPC总承包招标中标公告发布。同兴环保科技股份有限公司中标,中标价格:2159.8万元。
3月21日,广西北港新材料有限公司综微公司超低排放改造废气治理项目EPC总承包中标候选人公示。中标候选人第1名:同兴环保科技股份有限公司,投标报价:2159.8万元;中标候选人第2名:北京中航泰达环保科技股份有限公司,投标报价:2326.69万元;中标候选人第3名:江苏天洁环保装备有限公司,投标报价:2
北极星氢能网获悉,3月11日,重庆市巴南区人民政府发布了《重庆市巴南区空气质量持续改善行动实施方案》的通知。该通知明确指出,将在社区层面积极推动氢能的应用,具体涉及燃料电池车辆、综合发电系统、备用电源以及热电联供系统等领域,作为传统能源的替代。同时,通知还强调了绿氢的推广使用,特别
导语:2025年是习近平总书记“绿水青山就是金山银山”理念提出20周年,“双碳”战略目标宣示5周年,也是深入推进绿色转型发展、建设美丽中国的关键一年。为深入贯彻习近平生态文明思想,展示近年来生态文明建设成果,推进生态环保产业高质量发展,中国环境保护产业协会拟定于2025年4月10日-12日在北京
2月17日,横店集团东磁股份有限公司在国际企业社会责任评估机构EcoVadis的严格评审中脱颖而出,荣获该机构集团级(group)银牌勋章,这意味着其ESG表现在所有参评企业中位列前15%,在光伏和磁性材料行业更是处于领先地位。EcoVadis是全球公认的企业可持续发展绩效评级平台,其评估体系涵盖环境、劳工与
会馆名称:上海新国际博览中心(浦东)会展地址:上海浦东新区龙阳路2345号开始时间:2025年6月24日结束时间:2025年6月26日主办单位:InformaMarkets、中国医药保健品进出口商会协办单位:上海博华国际展览有限公司一、展会概况在全球医药行业蓬勃发展的浪潮中,中国医药行业正展现出强劲的增长势头。据
北极星VOCs在线获悉,1月20日,珠海天威科创园有机废气处理工程vocs废气治理项目(第二次)中标结果公告,广东龙贲环境设计院有限公司中标该项目,中标价格为246万元,公示如下:
导读:为及时反映生态环保产业过往一年的发展动态,预测新一年的发展趋势,我会组织各分支机构编写了《2024年行业评述和2025年发展展望》,供环保企事业单位、专家和管理者参考。本文为《2024年有机废气治理行业评述和2025年发展展望》,作者为中国环境保护产业协会废气净化专业委员会王喜芹、李京芬、
2024年12月20日上午,由北极星环保网北极星大气网联合主办的2024工业烟气深度治理线上研讨会暨2024“北极星”杯烟气治理影响力企业评选线上颁奖典礼隆重召开,受到业内外的重点关注。众多从业者齐聚北极星平台,共同为工业烟气治理行业总结经验,交流现状,展望未来。2024年是我国大气污染防治工作深入
中国招标投标公共服务平台发布荆州市群力金属制品有限公司超低排放改造项目招标公告,项目预算4500万元,招标内容为短流程钢铁行业超低排放改造,全厂有组织、无组织废气治理提升工程。
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