太阳能光伏产业多晶硅生产中的废气处理方法

（3）燃烧法

燃烧法的主要原理是在有氧和助燃材料的条件下，废气在燃烧炉内进行高温燃烧水解，从而将废气转化为含有二氧化硅、氯化氢、少量氯气和水蒸气的高温烟气，通过对高温烟气的换热、拦截和降温吸收，以蒸汽的方式回收烟气中的热量，同时以副产物的形式回收烟气中的二氧化硅和盐酸，剩余烟气经淋洗后达标排放。

4.多晶硅生产废气焚烧处理优化分析

焚烧工艺优化,可以在保证满足环保性与安全性要求基础上,对废气、废液等进行有效治理。处理流程为焚烧、余热回收、二氧化硅回收、急冷、盐酸回收、淋洗塔与排放。多晶硅生产废气经过缓冲后,进人到焚烧炉内进行高温氧化反应处理,对氯化硅烷进行彻底分解,生成5102、HCI等。

焚烧炉内出来的高温烟气中含有大量热量,将其通人到余热锅炉内进行降温处理,同时回收其中余热,可以利用烟气余热来对脱盐水处理,将其变为蒸汽回收利用。烟气经过余热锅炉处理后,通过过滤器进行气固分离,对烟气中含有的5102粉尘进行消除处理,进人到急冷塔内,利用水喷淋降低烟气温度。

喷淋降温后盐酸利用石墨换热器与冷却水换热冷却后继续进行喷淋降温,并回收烟气内含有的盐酸。最后烟气中含有的少量1C2与HCI通过碱液淋洗塔淋洗后,利用气水分离器处理后排放。

5.废气处理方法的发展与建议

（1）传统工艺的发展建议

对于传统废气处理工艺而言，必须在达标处理的基础上实现资源综合回收利用，切实减少资源浪费，降低三废处理成本。目前，已有部分企业开始进行传统工艺处理废气的新探索：

①从多晶硅生产的源头出发，优化上游单元的工艺运行参数，减少废弃物的排放。

②通过对废气组分和含量的分析，在废气进入后续处理系统之前对废气进行深冷或其他有效的回收工艺，降低废气中氯硅烷的含量，减少后续废气的处理成本；同时，对于深冷回收的氯硅烷返回系统重新利用，降低整个系统的硅耗和氯耗。

③采用氢氧化钙处理废气时，通过工艺的调整，可以使反应生成的产物主要为氯化钙，且满足工业生产要求出售；

④用氢氧化钠处理废气时，可将含有大量氯离子的上清液进行电解，产生氢气、氯气和氢氧化钠进行重复再利用，可大大降低生产成本；另一方面需继续研究对废气处理后产生的硅酸钠进行回收利用；

（2）燃烧工艺的发展建议

对于焚烧工艺而言，目前，我们有以下建议：

①实现焚烧炉、阀组及雾化系统的国产化，降低设备的购买及折旧成本；

②提高副产物的回收率和品位，增加产品的经济价值；

③实现系统热量的循环利用及提高回收蒸汽的利用率，从而减少助燃材料的使用；

结语；对多晶硅生产废气进行有效处理,对降低环境污染,提高生产安全具有重要意义。但是在选择废气处理方法时,需要结合实际生产情况,对各项因素进行综合分析,确保所选方法应用的合理性与有效性,不但要保证废气的合理处理,还可以对副产品进行回收利用,在总体上提高生产综合效率。

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