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扩散泵的应用范围
扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,它们都是利用高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,所以扩散泵具有和水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点主要在于扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。扩散泵广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。
影响油扩散泵性能的因素如下
1、油扩散泵的返流。
2、气体分子的反扩散。
3、扩散泵油的裂化分解,一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右),受热稳定性好,不易被氧化,分子量大的高沸点的液体,如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。
4、泵清洗不干净,污染物质留在泵内并重复循环,影响其真空度。
扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵,目前,扩散泵是最广泛、最主要的获得高真空的工具之一 。作为前级泵。高真空扩散泵主要由泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等组成。
10、分子泵
子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。
工作条件
(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
分子泵特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量极小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
其他常见应用:
1.分析(质谱分析、电子显微镜等)
2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)
3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)
4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)
5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)
6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊
7.研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)
8.灯生产行业及相关
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