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影响因素
钛升华泵(Ti升华泵)的抽气速率与被抽气体的种类及其压力、钛的升华率、钛膜面积和钛膜温度等因素有关。
在压力高时,泵的抽速决定于升华率。为获得大的抽气速率,压力越高升华率应越大,但在低压力下太大的升华率是不必要的。在 10-7帕压力时的升华率只有10-3帕时的1%即可。在超高真空时常采用断续升华,如10-8帕时每隔几小时才升华1分钟。
经彻底烘烤去气的泵,用水或液氮冷却对极限压力的影响不大,但对抽气速率的影响很大。液氮冷却的抽气速率一般比水冷却的大1~4倍。
钛升华泵的应用
钛升华泵在电子器件、高能加速器、可控热核反应装置和空间模拟装置,以及表面物理试验等方面都得到广泛的应用。钛升华泵(TSP)可以有效抽除活性气体H2、N2、CO等,适用于超高真空(UHV)系统。
使用要求
启动钛升华泵需要1~10-2帕的预真空,同时进行烘烤去气(泵每次暴露于大气压后都要进行烘烤去气)。
烘烤去气是获得超高真空的必要条件。泵经彻底烘烤去气后,可以获得低的极限压力和缩短达到极限压力的抽气时间,还能使泵壁更清洁,沉积的钛膜不易脱落和避免放气等。一般以300~400℃温度烘烤12~24小时。
泵启动后泵壁不宜马上冷却,应让升华的钛在其上沉积几分钟后再冷却,这样钛膜就不易脱落。
其他不得不看的真空泵选型策略
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:
1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、选择真空机组:
(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。
(2) 有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。
5、当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。
在考虑到了各种情况后,才能最后确定一个适应于您的解决方案:
(1) 最小的投资费用。
(2) 最小的生产运行费用。
(3) 将前两种情况合理均匀分配的可行方案。
真空泵最佳工作范围:
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