沸石转轮浓缩焚化腐蚀性技术在VOCs治理方面的研究与应用

除此之外，其还能根据VOCs成分的不同，采用更加具有针对性的高效率沸石分子筛来做吸附剂，进而更加高效的治理VOCs，从而达到较为理想的治理效果。

通过实际考察和数据监测记录发现，沸石分子筛的吸附效率普遍能够达到95%以上，如下图(根据某IC厂使用沸石转轮浓缩焚化设备监测的数据)如(图4)所示。

图4沸石转轮浓缩焚化设备监测的数据简图

通过该表可以清晰的看出，沸石分子筛对VOCs的浓度要求很低，其吸附效率基本不受废气源VOCs浓度的影响。

因此，针对目前芯片制造业、LCD面板业、半导体业，其固定的生产方式必须要用到大量的有机溶剂，用以作为清洗剂、光刻胶、剥离液、稀释剂等，在这个过程中会产生大量的有机废气，这些有机废气都是大风量、低浓度的废气，所以要想高效的治理这一类的含有VOCs成分的废气，沸石转轮吸附浓缩法是现阶段最为有效的治理方式。

现在新型新型吸附剂正在开发当中，我国的转轮制作技术和密封技术也在不断的提高，转轮吸附技术的实用性和处理效果也将得到大幅度的提升，该项技术在未来的时间里将突破行业的壁垒，受到更加广泛的应用。

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